1 總 則

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中華人民共和國國家標準電子工業潔凈廠房設計規范 GB50472-2008  條文說明1總則本規范是電子工業潔凈廠房設計的國家標準，適用于各種類型

2 術 語

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2術語2．0．1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等

3 電子產品生產環境設計要求

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3電子產品生產環境設計要求3．1一般規定3．1．1～3．1．3隨著科學技術的發展，電子產品生產日新月異，以微電子產品為代表的各種電子產品生產技術

4 總體設計

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4總體設計4．1位置選擇和總平面布置4．1．1電子產品生產用潔凈廠房與其他工業潔凈廠房的重要區別之一是一些電子產品生產對化學污染物有嚴格的要

5 工藝設計

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5工藝設計5．1一般規定5．1．1隨著科學技術的發展，電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速，以集成電路為代表的微電子產品尤為顯著，

6 潔凈建筑設計

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6潔凈建筑設計6．1一般規定6．1．1、6．1．2隨著科學技術的發展，電子產品生產發展很快，即使某一種電子產品也常常需要更新換代或生產工藝調整或

7 空氣凈化和空調通風設計

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7空氣凈化和空調通風設計7．1一般規定7．1．3潔凈廠房中凈化空調系統的劃分原則，本條推薦6種情況宜采用“分開設置”。研究分析凈化空調系統“分

8 給水排水設計

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8給水排水設計8．1一般規定8．1．1潔凈廠房內的管道敷設方式會對潔凈室的空氣潔凈度產生影響，成排布置的給水排水管道有時會對潔凈室的氣流流型

9 純水供應

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9純水供應9純水供應9．1一般規定9．1．1電子工業潔凈廠房設計中純水供應是重要內容之一。各種電子產品生產工藝對純水水質、水量要求均不相同，在

10 氣體供應

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10氣體供應10．1一般規定10．1．1潔凈廠房使用的氣體有常用氣體、干燥壓縮空氣及特種氣體三大類，根據各種電子產品品種及其生產工藝的不同，使用